中微公司(688012)：刻蚀设备收入持续高增长 薄膜沉积设备2024E新品迭出

投资要点：2023 年新签刻蚀设备订单达69.5 亿元，同比增长约60.1%；不断拓宽薄膜沉积设备领域的产品覆盖度。


　　2023 年刻蚀设备收入快速增长。中微公司主要为集成电路、LED 外延片、功率器件、MEMS 等半导体产品的制造企业提供刻蚀设备、MOCVD 设备、薄膜沉积设备及其他设备。2023 年实现营业收入62.64 亿元，同比增长32.15%；归母净利润17.86 亿元，同比增长52.67%；扣非后归母净利润11.91 亿元，同比增长29.58%。细项来看，2023 年刻蚀设备收入47.03 亿元，同比增长49.43%；MOCVD 设备收入4.62 亿元，主要因为公司的MOCVD 设备已经在蓝绿光LED 生产线上占据绝对领先的市占率，受终端市场波动影响，MOCVD 设备的销售额有所下滑。


　　2023 年刻蚀设备新增订单同比增长60.1%。公司2023 年新增订单金额约83.6 亿元，较2022 年新增订单的63.2 亿元增加约20.4 亿元，同比增长约32.3%。其中刻蚀设备新增订单约69.5 亿元，同比增长约60.1%；MOCVD设备新增订单同比下降72.2%。截止2023 年底，公司累计生产付运超过2800个CCP 刻蚀反应台，ICP 刻蚀设备在50 多个客户的生产线上量产。与此同时，配备超低频偏压射频的用于超高深宽比掩膜刻蚀的ICP 刻蚀机目前在生产线上验证顺利，配备超低频高功率偏压射频的用于超高深宽比介质刻蚀的CCP 刻蚀设备也进入到良率和可靠性验证阶段。


　　新产品不断，拓展薄膜沉积设备领域的产品覆盖度。中微公司近两年新开发的LPCVD 设备和ALD 设备，目前已有四款设备产品进入市场，其中三款设备已获得客户认证，并开始得到重复性订单；公司计划2024 年推出超过10款新型薄膜沉积设备，扩大产品覆盖度。公司新开发的硅和锗硅外延EPI 设备、晶圆边缘Bevel 刻蚀设备等多个新产品，计划在2024 年投入市场验证。


　　盈利预测与估值建议。我们预计中微公司2024E-2026E 收入分别为82.69亿元、111.12 亿元、143.90 亿元，同比增32.02%、34.38%、29.50%；归母净利润（扣非前）分别为19.07 亿元、25.42 亿元、34.11 亿元，同比增6.76%、33.30%、34.21%。我们采取PE 估值方法，结合可比公司PE 估值水平，给予中微公司2024E（PE）35x-45x 估值，对应合理市值区间667.31亿元-857.97 亿元，合理价值区间107.76 元/股-138.54 元/股，维持"中性"评级。


　　风险提示。宏观经济疲软带来消费者对电子终端产品的需求弱、中美贸易摩擦加剧导致进一步技术封锁和制裁、下游晶圆厂建厂进度放缓、技术研发进度不及预期、市场开拓不及预期、市场竞争加剧导致毛利率下滑的风险、核心技术人员离职的风险等。

□.张.晓.飞./.肖.隽.翀    .海.通.证.券.股.份.有.限.公.司